真空技术有着广泛的应用场景，而真空采集是真空应用研究的基础。真空获得设备，顾名思义，是一种用来从密闭容器之中抽出空气以产生真空环境的机械装置。真空获取设备按抽气原理可分为气体捕获型和气体输送型，其中气体输送型又可细分为变容式和动量传递式。

随着现代科学技术的不断发展，推陈出新，真空应用的范围越来越广，对真空获得设备的要求也越来越高。在传统的油封机械泵之中，泵油可以润滑泵腔并密封泵腔的内部。然而，对于真空环境，一旦泵油回流到真空环境之中，一方面会污染真空室，另一方面真空室之中的工艺气体也会与泵油发生反应，使泵油容易变质，影响真空泵的稳定运行。

特别是在半导体、航空航天、微电子、光伏、微纳加工、真空镀膜等领域，对真空环境和真空设备的要求更高，不仅要求清洁、无油、真空度高，而且要求真空获取设备运行稳定可靠、节能环保、生态环境保护。

干式真空泵在运行过程之中泵室内无油，即泵室外部在运行过程之中不需要油润滑和密封，因此不会影响真空环境，真空环境具有高度的清洁度。不同的干泵有不同的应用场合，一般要求能抽除易燃、易爆、腐蚀性、可凝性气体等。所产生的制造过程之中及时。

常见的机械干式泵有罗茨式、螺杆式、爪式、往复式、涡旋式等。其中，螺杆干式真空泵具有明显的优势。螺杆真空泵结构紧凑，泵室内无油，转子与转子间、转子与泵室间无接触。可应用于复杂的工作环境，运行可靠，寿命长。

螺杆真空泵是干式真空泵的一种。螺杆真空泵具有下列特点：

(1)一般油封真空泵抽真空时，泵油会进入真空室，污染真空环境。同时，工艺气体也会污染泵油，影响泵的稳定运行。螺杆真空泵是干式真空泵，螺杆真空泵运行时转子室无油。

（二）适应能力强。螺杆真空泵抽速高，仅用一台螺杆真空泵就可获得很高的真空度。可从大气压直接泵送至1Pa下列，不需与其他泵串联。泵送性能优良，泵送速度相对稳定，节能高效。对某些腐蚀性气体，可在转子和泵室表面进行涂层处理，以改善转子和泵体的表面性能。同时，转子间有一定的间隙，在操作和装配过程之中不会影响涂层。破坏。

（3）结构紧凑，可靠性高。螺杆真空泵抽气时，是通过一对螺杆转子同步旋转来实现的。间隙的存在可以防止转子在运行过程之中由于热膨胀而被卡住。同时，它还可以抽出一些含有粉尘的颗粒状气体和易燃易爆气体。

（4）故障少，维修方便。泵腔之内只有一对相互啮合的螺杆转子，工作稳定、安全、高效。

(5)气体通道很短。气体在泵内输送路径短，对于等螺距螺杆转子，输送过程之中气体不被压缩，避免了反应物的积聚，便于气体的快速排出。