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2干式真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵
3液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油》抛向泵壳形成泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积,故亦称旅转恋容直空泵。
1)罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。
1)动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。
(1)分子真空泵:它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式:
D牵引分子泵:气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被送到出口,因此,是一种动量传输泵。
2涡轮分子泵:泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子圆盘(或定片)间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。
3复合分子泵:它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵
(2)喷射真空泵:它是利用文丘里(Venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵,适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种:
D液体喷射真空泵:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵
2气体喷射真空泵:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵
3蒸气喷射真空泵:以蒸气(水、油或汞等蒸气)作为工作个质的喷射真空泵
(3)扩散泵:以低压高速蒸气流(油或汞等蒸气》作为工作个质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:D自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
2分馆式扩散泵:这种泵具有分馆装置,使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。嘴,
(4)扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
(5)离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输
3.1.2.2气体捕集泵
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。
1)吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质》的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空
泵
2)吸气剂泵
它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式