扩散泵，是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。扩散泵中的油在加热到沸腾温度(约为℃)后产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。

由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸汽流中该气体的分压强，被抽气体的分子便不断扩散到高速定向蒸汽流中，随着蒸汽流带走。气体分子随蒸气流碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸汽流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸汽进行多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。

电磁泵，是在电磁力作用下输送流体的。在化工、印刷行业中用于输送一些有毒的重金属，如汞、铅等，用于核动力装置中输送作为载热体的液态金属(钠或钾、钠钾合金)，也用于铸造生产中输送熔融的有色金属。

水锤泵，是以流水为动力，利用流动中的水被突然制动时所产生的能量，产生水锤效应，将低水头能转换为高水头能的高级提水装置。适合于具有微小水力资源条件的贫困用水地区，以解决山丘地区农村饮水和治旱问题。