财联社9月25日讯（编辑刘越）据近期发布的券商研报援引数据显示，国产半导体零部件中标今年8月环比增长%；1-8月，共计中标22项，同比增长37.5%，其中电源及气体反应系统15项，同比增长50%；热管理系统2项，真空系统3项，同比增长50%。多家本土零部件制造商名列设备厂商仪器仪表类、电气类、连接器、结构件、电器类、腔体零部件等零部件的供应商名单，国产零部件加速向本土厂商渗透。

天风证券分析师潘暕等在9月20日发布的研报，年初至今国内设备零部件厂商中标同比增速亮眼，8月中标的3项分别为菲利华()中标的石英纤维和石英纤维织物，和英杰电气中标的集成多电平模块实验平台系统双模电源。

东北证券分析师李玖9月19日发布的研报中表示，零部件之于半导体设备，如同墨盒之于打印机，既有设备对零部件的带动，也有晶圆厂对零部件的直接采购。半导体设备零部件作为各种半导体设备的组成部分，上游地位重要性显著。

李玖指出，国内半导体设备市场规模从年的49亿美元扩大到年亿美元，CAGR达到34.95%，增速远超全球平均水平。半导体零部件作为设备和晶圆厂不可或缺的重要部分，据测算，年全球半导体零部件市场规模达到亿美元，其中设备零部件市场规模亿美元，晶圆厂直采零部件规模达到亿美元，占总体规模比重达24.27%。

从结构上看，半导体设备上游零部件，单一产值虽小但品类繁多。在气体输送、机械运动、电气信号控制、晶圆传输、维持设备整体结构稳定等方面起作用。民生证券分析师方竞9月14日发布的研报指出，按照结构组成，零部件可大致分为：机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器仪表类、光学类等，而每一个大类下又包含诸多子类。对于设备厂商而言，零部件采购往往占其营业成本的90%左右。

东北证券指出，按半导体设备零部件的分类来看，机械类国内上市公司有富创精密（待上市）和菲利华等，电器类有英杰电气和北方华创()等，机电一体类有富创精密等，气液真空系统类有富创精密、万业企业()和新莱应材()等，仪表仪器类有北方华创和万业企业等。

方竞指出，半导体设备行业近年迎来快速增长，而上游零部件环节的自主可控需求日益强烈。伴随一批优秀国产供应商涌现：如江丰电子（金属加工件）、新莱应材（真空与气体管阀零部件）、华亚智能（精密结构件）、万业企业（参股气体零部件龙头Compart）、英杰电气（射频电源）、富创精密（金属加工件和气体模组）、正帆科技（厂务设备和GasBox）、汉钟精机（真空泵）、神工股份（硅部件）、华卓精科（精密测控系统）等。看好国内半导体零部件行业受益下游需求的持续增长和国产化加速。建议

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